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高纯度的还可以用于电子行业上作为等离子气相沉积的前驱体，形成二氧化硅、碳化硅绝缘薄膜．用来合成有机硅中间体及高分子化合物提供活联点之用，是制备硅橡胶不可缺少的原料之一。按照结构分类的，比如，硅氧烷，硅氮烷等。

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