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化学气相沉积（cav）法，又称热解法、干法或燃烧法。其原料一般为四、氧气（或空气）和氢气，高温下反应而成。反应式为：sicl4+ 2h2+ o2—>;sio2+4hcl。空气和氢气分别经过加压、分离、冷却脱水、硅胶干燥、除尘过滤后送入合成水解炉。将四原料送至精馏塔精馏后，在蒸发器中加热蒸发，并以干燥、过滤后的空气为载体，送至合成水解炉。

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